Étude de l’effet de l’épaisseur sur les propriétés structurales et optiques des couches minces de ZnO:Al
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Date
2018-06-27
Authors
Journal Title
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Volume Title
Publisher
Université Mohamed BOUDIAF de M'Sila
Abstract
Dans ce travail de mémoire, nous avons étudié l’effet de l’épaisseur sur les propriétés
structurales et optiques des couches minces de ZnO dopé 2.5 % d’aluminium. Ces derniers
ont été déposées par la technique de pulvérisation cathodique RF-magnétron sur les substrats
de verre avec trois épaisseurs différentes de ZnO : Al (400, 750 et 950 nm). Les résultats
obtenus de DRX ont montré que tous les films déposés ont une structure hexagonale de
type wurtzite avec une orientation préférentielle selon l’axe c perpendiculaire à la surface de
substrat. Les résultats de spectrophotométrie UV-Visible ont montré que tous les couches
de ZnO:Al sont transparentes et ont une transmission moyenne supérieure à 85 % dans le
domaine de visible. L’augmentation de l’épaisseur de la couche améliore la qualité cristalline
du film et augmente le gap optique, par contre la transmission optique est diminue avec
l’augmentation de l’épaisseur.
Description
Keywords
ZnO:Al, Couches minces, pulvérisation RF-magnétron, substrat de verre, OTC, épaisseur.