ETUDE ET CARACTERESATION D’UN CAPTEUR DE PRESSION PIEZORESISTIF
Loading...
Date
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Université Mohamed Boudiaf - M'Sila
Abstract
Il existe de nombreuses sortes de capteurs, permettant d’exploiter de façon
ingénieuse les lois physiques à partir d’un relevé électrique. Nous nous sommes
intéressés particulièrement au capteur de pression piézorésistif.
L’objectif de ce travail est l’étude et la modélisation des capteurs de pression
piézorésistifs au silicium. Le corps d’épreuve de ce dispositif est une membrane fine
au silicium parfaitement encastrée aux bords, soumise à une pression uniforme et
constante. La modélisation de cette membrane est effectuée dans le cas des petites
perturbations par la méthode de Galerkin, en vue de déterminer la solution de
l’équation de Lagrange d’ordre 4 régissant la déflexion d’une plaque parfaitement
encastrée aux bords . Par ailleurs, Une étude en fonction de la géométrie de la
membrane a montrée les avantages et les inconvénients de chaque forme. Ce qui
permet de donner au concepteur des critères de choix en fonction du domaine
d’application souhaitée.
A partir des relations d’élasticité de Hooke reliant les contraintes et les
déformations, les valeurs optimales des contraintes engendrées sur la membrane ont
été déterminées. Les résultats de la modélisation obtenus ont été appliqués en premier
lieu à un capteur de pression piézorésistif. Son principe est basé sur l’utilisation de
jauges de contraintes piézorésistives diffusées, implantées ou déposées sur la
membrane. L’emplacement des jauges et leurs orientations ont été choisies
judicieusement afin d’obtenir une réponse optimale et linéaire ainsi qu’une valeur
maximale de sensibilité du capteur.
Description
Keywords
CAPTEUR,PRESSION PIEZORESISTIF