ETUDE D’UN CAPTEUR DE FORCE PIEZORESISTIF
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Date
2015
Authors
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Publisher
UNIVERSITE DE M’SILA FACULTE DE TECHNOLOGIE
Abstract
L’objectif du travail effectué dans ce mémoire est l’étude et la simulation d’un capteur de force. Notre capteur est constitué d’un microlevier en SiO2 sur lequel est implanté une résistance variable en Si. Les caractéristiques mécaniques du microlevier à savoir le stress et le déplacement sont simulés par le logiciel COMSOL, d’autre part on étudier l’influence des paramètres géométriques sur la sensibilité ΔR/R.
Description
Keywords
capteur de force, microlevier, piezoresistivité, sensibilité, COMSOL