توزيع الإشابة المزروعة في ا لشبكة مسبقة الإشابة
Loading...
Date
2023-09-27
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
UNIVERSITE MOHAMED BOUDIAF - M’SILA
Abstract
هناك العديد من طرق التطعيم للمواد الشبه الموصلية نذكر منها : التطعيم عن طريق التحويل النووي ، تطعيم بتقنية
الليزر، التطعيم عن طريق قذف الأيونات في هذا العمل، تمت د ا رسة عدة معاملات متعلقة بزرع الأيونات للكربون
في السيليكون عبر محاكاة،الذي يسمح لنا بتوقع ظواهر التصادم . تمت عملية التمثيل باستخدام البرنامج بين أيونات
الكربون وهدف من السيليكون المطعم بالنتروجين يدعى. SRIM
من الناحية التجريبية، تم إعداد العينات SiNx/SiO2/Si عن طريق زرع أيونات C+ في هذة العينات و من نتائج
هذه المحاكاة تم د ا رسة المعاملات متعددة ذات علاقة بالتطعيم بنوعيه نذكر منهم :حساب تركيز التطعيم ,فقدان
الطاقة للأيونات داخل المصفوفة البلورية للمادة , ،طاقات الأيونات الارجاعية ، والأيونات المبعثرة،الفونونات .وتم
د ا رسة تغي ا رت هذه المعاملات وتسجيل منحنياتها بدلالة طاقة قذف الايونات وتمت مقارنة النتائج المتحصل عليها
ومناقشتها .